I2形MEMS谐振器的电阻差分检测方法

• 作者: 唐彬 熊壮
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS谐振器 差分检测 热执行 压阻敏感
• 年，卷（期）: 2014,（9）
• 所属期刊栏目: 传感器研究
• 页码范围: 1174-1182
• 页数: 9页
• 分类号: TB115|TB125
• 字数: 2863字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2014.09.004

摘要

为克服I2形MEMS谐振器输入端(热执行)与输出端(压阻敏感)直接耦合所造成的输出信号品质较差的缺点，设计并制作了一种电阻差分检测电路。该电路通过外接电阻的方法，产生与输出信号中耦合成分幅值相同、相位相反的差分信号。将差分信号与谐振器输出信号相组合，从而实现解耦的目的。实验结果表明，电阻差分检测可有效消除了输出信号中的耦合成分，使频谱响应曲线得到更直观的体现。与其他消除耦合信号的技术方案相比(混频检测电路、惰性谐振器等)，电阻差分检测法电路设计简单，无需改动器件的加工工艺，有利于满足未来器件小型化要求。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	唐彬	中国工程物理研究院电子工程研究所	59	173	8.0	10.0
2	熊壮	中国工程物理研究院电子工程研究所	13	11	2.0	2.0