Al2O3单晶W-Y2O3金属化工艺研究

• 作者: 张小勇 李新成 李锴 王永 陆艳杰
• 来源期刊: 稀有金属
• 学科: 工学
• 关键词: 氧化铝单晶 W-Y2O3 金属化 强度 气密性
• 年，卷（期）: 2014,（4）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 589-595
• 分类号: TB751
• 语种: 中文
• DOI: 10.13373/j.cnki.cjrm.2014.04.008

摘要

研究了Y2O3含量及金属化烧结温度对Al2O3单晶W-Y2O3金属化质量的影响.用纯钯钎料对金属化的Al2O3单晶与铌合金进行了真空封接,测试了封接强度和气密性,用扫描电子显微镜(SEM)观察了金属化层形貌,用X射线衍射(XRD)对金属化层进行了物相分析.结果显示,Y2O3含量为2.0％时,封接强度最高,达到45 MPa; Y2O3含量为3.0％时,封接气密性最高,氦漏率达到1×10-10 Pa·m3·s-1; Y2O3含量达到5.0％时,金属化层烧结过程中生成的液相量过多,金属化层龟裂.金属化烧结温度对金属化质量及封接件的性能影响显著,金属化烧结温度越高,金属化层越致密,封接件的强度和气密性越高.烧结温度为1650℃时,金属化层经历了固相烧结,真空封接后金属化层呈不连续、厚度不均的分布状态.烧结温度达到1760℃及以上时,金属化层中有液相生成,封接件的强度和气密性明显提高.金属化温度达到1850℃时,焊接后的金属化层保持致密、连续的分布状态,界面反应产物为AlY3O12,封接强度高于40MPa,氦漏气率达到1×10-m Pa·m3·s-1,为比较理想的金属化烧结温度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张小勇		25	210	9.0	13.0
2	陆艳杰		21	173	8.0	12.0
3	李新成		4	15	2.0	3.0
4	王永		9	48	3.0	6.0
5	李锴		3	12	1.0	3.0