氧化铝陶瓷基无线无源压力传感器的高温性能研究

• 作者: 任重 李晨 熊继军 蔡婷 谭秋林 郑庭丽
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 压力传感器 无线无源 高温 零点温漂 谐振频率
• 年，卷（期）: 2014,（9）
• 所属期刊栏目: 传感器研究
• 页码范围: 1169-1173
• 页数: 5页
• 分类号: TP212.1
• 字数: 2477字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2014.09.003

摘要

利用高温烧结陶瓷技术制备了一种基于氧化铝陶瓷的LC谐振式无线无源压力传感器,并通过合理地设计圆柱螺旋天线以及隔热结构,实现了该传感器在高温环境中的无线耦合测试。研究了传感器在不同温度下的阻抗频率特性,分析并探讨了传感器的高温性能。测试结果表明,在29℃(室温)至700℃的温度范围内,测试天线端的最高瞬时温度为188.4℃,保证了传感器高温测试的可靠性。谐振频率对温度的平均变化量为1.314 kHz/℃,两次重复性测试的相对变化量为3.81%,重复性较好。该压力传感器可应用于高温恶劣环境下的压力测试,其高温性能的研究为压力信号的准确读取奠定了良好的基础。