乳胶源硼扩散的SENTAURUS模拟

• 作者: 刘剑 宋玲玲
• 来源期刊: 微处理机
• 学科: 工学
• 关键词: 乳胶源硼扩散 SENTAURUS模拟 半导体TCAD Sentaurus Process模块
• 年，卷（期）: 2014,（5）
• 所属期刊栏目: 大规模集成电路设计、制造与应用
• 页码范围: 16-17
• 页数: 2页
• 分类号: TN4
• 字数: 1351字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-2279.2014.05.006

摘要

利用半导体TCAD工具Sentaurus对硅片的乳胶源掺硼扩散工艺进行模拟，用淀积后的退火处理过程替代注入后退火的模拟方案，以多种实测条件为标准，用两种条件进行模拟，并结合实测数据，对模型结果进行比较，找到模拟的最终可行方案，弥补Sentaurus软件功能模块上的不足。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘剑	中国电子科技集团公司第四十七研究所	16	33	4.0	5.0
2	宋玲玲	中国电子科技集团公司第四十七研究所	6	43	2.0	6.0