基于外差干涉的微振动测量技术研究

• 作者: 刘丹 刘乃强 刘辉 郑宾 郭华玲
• 来源期刊: 应用光学
• 学科: 工学
• 关键词: 微振动测量 外差干涉 激光超声 线偏振光
• 年，卷（期）: 2014,（5）
• 所属期刊栏目: 光学计量与测试
• 页码范围: 858-861
• 页数: 4页
• 分类号: TN247
• 字数: 1513字
• 语种: 中文
• DOI: 10.5768/JAO201435.0503006

摘要

针对外差干涉的微振动测量存在稳定性低、严重受环境噪声影响等缺点，提出了对光路的改进方案。根据差分原理将其改为双光路，消除环境噪声的干扰；通过偏振分光棱镜（PBS）将椭圆偏振光变为线偏光，提高干涉信号幅值；改进频移装置（AOM），抑制频率漂移；增加光阑，滤除杂散光，提高系统信噪比。通过探测5kHz压电陶瓷振动信号，以及2．5MHz高频激光超声信号进行实验验证，结果表明：信号稳定且无纹波，系统分辨率为2．3nm，信噪比提高16．7倍。两路干涉信号幅值分别为552mV和736mV，较传统外差干涉信号幅值提高近10倍，有利于纳米量级微振动信号的检测。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郑宾	中北大学信息与通信工程学院	149	707	12.0	21.0
5	刘丹	中北大学信息与通信工程学院	18	46	4.0	6.0
6	刘辉	中北大学信息与通信工程学院	19	77	5.0	8.0
7	郭华玲	中北大学信息与通信工程学院	33	93	6.0	8.0
11	刘乃强	中北大学信息与通信工程学院	6	27	2.0	5.0