Ni-Ti-O纳米管阵列的制备与氢敏性能

• 作者: 丁冬雁 刘强 宁聪琴 王学武 黎朝晖
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: Ni-Ti-O 阳极氧化 纳米阵列 热稳定性 氢敏
• 年，卷（期）: 2014,（10）
• 所属期刊栏目: 半导体材料
• 页码范围: 774-778
• 分类号: TN304.21
• 语种: 中文
• DOI: 10.13290/j.cnki.bdtjs.2014.10.011

摘要

掺杂是改善氧化钛纳米结构半导体特性的有效方法.在醇基电解液中,采用阳极氧化方法在TiNi合金表面成功制备出Ni-Ti-O纳米管阵列.通过扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)和X射线光电子能谱仪(XPS)等分析方法对纳米管阵列的表面形貌、微结构和热稳定性进行了表征,研究了退火后纳米管阵列的氢敏性能和抗干扰性.实验结果表明:在醇基电解质液中,采用阳极氧化方法在TiNi合金表面可制备出大面积均匀生长的Ni-Ti-O纳米管阵列,其管长约为220 nm,管径约为25 nm.经525℃热处理后其表面仍可保持规则的纳米阵列形貌.热处理后的Ni-Ti-O纳米管阵列在100 ℃对体积分数为0.1％的氢气具有良好的氢敏响应特性,对相同浓度的N2和NO则无明显响应.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘强	上海交通大学材料科学与工程学院微电子材料与技术研究所	98	481	11.0	18.0
2	王学武	华东理工大学信息科学与工程学院	22	210	10.0	14.0
3	丁冬雁	上海交通大学材料科学与工程学院微电子材料与技术研究所	28	316	10.0	17.0
4	黎朝晖	上海交通大学材料科学与工程学院微电子材料与技术研究所	2	0	0.0	0.0
5	宁聪琴	中国科学院上海硅酸盐研究所高性能陶瓷和超微结构国家重点实验室	7	10	3.0	3.0