基于电子印刷工艺的薄膜热电偶研制

• 作者: 于方舟 叶树亮 杨遂军 邬云晨明
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 学科: 工学
• 关键词: 电子印刷工艺 薄膜热电偶 微纳米材料 Au-Pt热电偶
• 年，卷（期）: 2014,（1）
• 所属期刊栏目: 设计与制造
• 页码范围: 85-88
• 页数: 4页
• 分类号: TP212.1
• 字数: 2851字
• 语种: 中文

摘要

薄膜热电偶由于具有体积小、热容量小及响应速度快等优点成为近年来学者们研究的重点.薄膜制备常用的方法有射频溅射法、离子镀膜法以及直流脉冲磁控溅射法等,但这些方法操作设备复杂,制作时间长,效率低,成功率低且复现性差.用电子印刷工艺制备薄膜热电偶,将Au,Pt的溶液化微纳米材料印制在基板上,印刷成为Au-Pt薄膜热电偶,该方法操作方便快捷,对电极材料污染小.通过试验证明:采用电子印刷工艺制备的Au-Pt薄膜热电偶符合Au-Pt热电偶检定规程的要求,热电偶精度高,重复性和一致性好.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	叶树亮	中国计量学院计量测试工程学院	106	396	11.0	14.0
2	杨遂军	中国计量学院计量测试工程学院	42	132	6.0	9.0
3	于方舟	中国计量学院计量测试工程学院	3	20	2.0	3.0
4	邬云晨明	中国计量学院计量测试工程学院	2	9	1.0	2.0