一种制作凹形聚二甲基硅氧烷微透镜阵列的方法

• 作者: 张志敏 李凤 钟可君 高益庆
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 物理学
• 关键词: 光学器件 微光学元件 凹形微透镜阵列 数字灰阶无掩模光刻 模型复制技术 聚二甲基硅氧烷
• 年，卷（期）: 2014,（3）
• 所属期刊栏目: 微纳光学
• 页码范围: 205-209
• 页数: 5页
• 分类号: O439
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL201441.0310002

摘要

提出一种制作凹形聚二甲基硅氧烷(PDMS)微透镜阵列的方法.用数字微镜器件(DMD)代替物理掩模,建立数字灰阶无掩模光刻系统,在光刻胶上制作正方形基底凸形微透镜阵列,以此阵列为母板,采用复制方法,制作了高填充因子的正方形基底凹形PDMS微透镜阵列.实验和测试结果表明:数字灰阶无掩模光刻系统制作的微透镜阵列表面光滑,形貌良好;复制的PDMS微透镜阵列边缘清晰,表面光滑,焦面光斑光强均匀.为制作凹形微透镜阵列提供了一条制作简单、效率高、成本低、可大规模制作的新途径.