PVD溅射电流对SiC纤维表面Ti3Al涂层组织结构的影响

• 作者: 李臻熙 王敏涓 解川 黄旭 黄浩
• 来源期刊: 稀有金属
• 学科: 工学
• 关键词: 溅射电流 物理气相沉积 Ti3Al 组织结构
• 年，卷（期）: 2014,（3）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 379-385
• 分类号: TB333
• 语种: 中文
• DOI: 10.13373/j.cnki.cjrm.2014.03.006

摘要

采用磁控溅射物理气相沉积(PVD)法在SiC纤维表面进行Ti3Al涂层的制备,研究了该过程中PVD溅射电流对Ti3Al涂层组织结构的影响规律.通过X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)和原子力显微镜(AFM)对Ti3Al涂层的沉积率、组成物相、晶粒大小、组织结构和表面形貌等进行了观察与分析.研究结果表明,磁控溅射PVD法制得的Ti3Al涂层组成物相与靶材一致,但涂层生长择优取向发生了变化.随着溅射电流的增大,Ti3Al涂层沉积率提高,平均晶粒尺寸增大.此外,涂层的微观形貌为柱状晶组织,但随着溅射电流的增加,涂层表面因粒子溅射辐照温度的升高而升温,同时晶粒边界出现迁移,涂层生长由V型柱状晶生长向等轴柱状晶生长转变,最后形成致密组织.涂层粗糙度的变化与涂层晶粒尺寸和微观结构有关,因此Ti3Al涂层表面粗糙度随着溅射电流增加呈现出先增大后减小的规律.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李臻熙	北京航空材料研究院先进钛合金航空科技重点实验室	52	998	16.0	30.0
2	黄旭	北京航空材料研究院先进钛合金航空科技重点实验室	98	1387	17.0	32.0
3	黄浩	北京航空材料研究院先进钛合金航空科技重点实验室	17	360	6.0	17.0
4	王敏涓	北京航空材料研究院先进钛合金航空科技重点实验室	4	9	2.0	3.0
5	解川	北京航空材料研究院先进钛合金航空科技重点实验室	2	9	2.0	2.0