一种基于Matlab的非球面光学元件面形参数测试技术

• 作者: 字正华 尤越 王乔方
• 来源期刊: 红外技术
• 学科: 工学
• 关键词: 非球面面形参数 接触式轮廓仪 ZYGO干涉仪 测试精度
• 年，卷（期）: 2014,（4）
• 所属期刊栏目: 测量技术
• 页码范围: 331-335
• 页数: 5页
• 分类号: TN214|TH74
• 字数: 2306字
• 语种: 中文

摘要

提出了一种接触式轮廓仪测量非球面参数的新方法，该方法通过在传统的二维接触式轮廓仪基础上增加旋转，从而实现了三维测量。为了验证新方法的测量准确性与可行性，文中使用ZYGO干涉仪对旋转对称球面进行检测，与新方法的检测结果加以对比。最后，使用新方法对非球面光学元件的面形参数进行测试，分析结果表明新的测量方法具备较高的测试精度，满足测量要求。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	字正华		7	16	2.0	3.0
2	王乔方		6	9	2.0	2.0
3	尤越		1	4	1.0	1.0