高灵敏度QVBA限位结构设计研究

• 作者: 周倩 周本清 唐光庆 曾小珊 李海 林丙涛 满欣
• 来源期刊: 压电与声光
• 学科: 工学
• 关键词: 石英振梁加速度计 限位片 灵敏度 差分 阻尼
• 年，卷（期）: 2014,（4）
• 页码范围: 572-574,579
• 页数: 4页
• 分类号: TP212
• 字数: 2199字
• 语种: 中文

摘要

石英振梁加速度计（QVBA）具有检测精度高、准数字输出的特点，灵敏度是影响其性能的一个重要指标参数。针对现有石英振梁加速度计灵敏度低的问题，设计了一种高灵敏度石英振梁加速度计。它采用在石英摆片上下位置施加一对限位片，既可对石英摆片的最大位移量进行限制以提高器件的抗冲击性能，又可增加石英摆片振动过程中的阻尼力以提高器件的抗振动性能，降低了加速度计一阶模态谐振频率的限制条件，有效提高了加速度计的灵敏度。最后依据加速度计的结构特点设计出了相应的工艺制作方案，并加工出了差分结构的加速度计样机，经测试其灵敏度为65．74 Hz/g，10 min零位稳定性为15．8μg。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	唐光庆	中国人民解放军驻重庆气体压缩机厂军事代表室	8	21	3.0	4.0
2	林丙涛		4	8	2.0	2.0
3	周倩		8	29	3.0	5.0
4	曾小珊		2	3	1.0	1.0
5	满欣		7	21	3.0	4.0
6	周本清		5	8	2.0	2.0
7	李海		3	12	2.0	3.0