美国GTAT公司柱状纳米技术或带来LED革命

• 来源期刊: 中国粉体工业
• 学科: 工学
• 关键词: 纳米技术 柱状 LED 美国 气相淀积 等离子体 使用权 INC
• 年，卷（期）: 2014,（2）
• 页码范围: 43-43
• 页数: 1页
• 分类号: TB383

摘要

GT Advanced Technologies （GTAT）宣布向Kyma Technologies，Inc．收购其等离子体气相淀积（PVD）技术及专门知识的独家使用权。Kyma所开发的等离子体气相淀积柱状纳米技术（PVDNC（TM））可以在氮化镓沉淀前，在晶圆上沉积一层高品质的生长型初始层氮化铝。