高纯六氟乙烷中氯化氢的傅里叶变换红外定量分析

• 作者: 曾昌华 杨会娥 柴华 王民涛
• 来源期刊: 浙江化工
• 关键词: 六氟乙烷 傅里叶变换红外光谱(FTIR) 氯化氢 定量分析
• 年，卷（期）: 2014,（8）
• 所属期刊栏目: 分析测试
• 页码范围: 49-51
• 页数: 3页
• 字数: 1913字
• 语种: 中文

摘要

电子行业用作清洗和蚀刻的特种气体六氟乙烷对杂质组分HCl的含量要求严格控制在一定范围，本文建立了用傅里叶变换红外光谱仪分析其中HCl杂质的分析方法，并实现了对产品中HCl的定量分析。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨会娥		26	26	4.0	5.0
2	曾昌华		10	1	1.0	1.0
3	王民涛		3	0	0.0	0.0
4	柴华		9	4	1.0	2.0