外腔面发射激光器 GaAs基质的酸性腐蚀

• 作者: 吴建伟 张鹏 房启鹏 朱仁江 梁一平 蒋茂华 詹小红
• 来源期刊: 激光技术
• 学科: 工学
• 关键词: 激光器 外腔面发射激光器 酸性腐蚀 GaAs基质
• 年，卷（期）: 2014,（5）
• 所属期刊栏目: 激光物理与激光器件
• 页码范围: 675-678
• 页数: 4页
• 分类号: TN248.4
• 字数: 2691字
• 语种: 中文
• DOI: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2014.05.021

摘要

外腔面发射激光器的GaAs基质厚度大，热导率低，严重阻碍有源区热量的扩散，影响激光器功率的提高。为了去除激光器的GaAs基质，采用硫酸系酸性腐蚀，通过改变腐蚀液浓度和腐蚀温度来比较腐蚀液对GaAs基质的腐蚀影响，并采用原子力显微镜照片表征了腐蚀表面的粗糙度。结果表明，当腐蚀液的体积比V（H2SO4）∶V（H2O2）∶V（H2O）＝1∶5∶10，腐蚀温度为30℃时，腐蚀速率适中，为5．2μm/min，腐蚀表面粗糙度2．7nm，腐蚀总体效果较为理想。较好的GaAs基质腐蚀效果为外腔面发射激光器衬底去除腐蚀阻挡层的选择性腐蚀提供了基本的保障。