定容法正压漏孔校准装置

• 作者: 刘志宏 卢耀文 张明志 徐天伟 查良镇 闫睿 陈旭 齐京
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 正压漏孔 校准 检漏 定容法
• 年，卷（期）: 2014,（6）
• 所属期刊栏目: 真空技术与理论
• 页码范围: 579-584
• 分类号: TB77
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2014.06.05

摘要

研制出定容法正压漏孔校准装置.采用满量程分别为133 Pa(差压式)、1.33×105 Pa(绝压式)的两台高精度电容薄膜真空计测量压力变化,通过全金属密封结构减小定容室漏放气对测量结果的影响;采用高精度半导体双级恒温系统获得了296±0.02 K的恒温效果,减小温度对漏孔漏率的影响;通过三个不同的标准体积作为定容室,拓宽装置的校准范围.研究结果证实,研制的校准装置仅采用定容法实现了3× 10-1 ～4× 10-8 Pa·m3/s的校准范围,合成标准不确定度为1.2％ ～3.2％.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈旭		71	482	10.0	20.0
2	查良镇		25	295	10.0	17.0
3	刘志宏		6	26	3.0	5.0
4	张明志		15	28	3.0	4.0
5	齐京		14	101	6.0	9.0
6	卢耀文		6	67	5.0	6.0
10	闫睿		2	18	2.0	2.0
11	徐天伟	中科院微电子研究所	1	8	1.0	1.0