(TiAlNb)N多组元硬质反应膜研究

• 作者: 尹利燕 张钧
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: (TiAlNb)N 显微硬度 附着力 摩擦磨损 热震
• 年，卷（期）: 2014,（10）
• 所属期刊栏目: 结构薄膜
• 页码范围: 1005-1011
• 分类号: TB43
• 语种: 中文
• DOI: 10.13922/j.cnki.cjovst.2014.10.01

摘要

采用多弧离子镀技术,通过采用Ti-Al合金靶及Ti-Nb靶的组合方式,在高速钢基体上制备了(TiAlNb)N多组元硬质反应膜.利用扫描电镜、X射线衍射仪对(TiAlNb)N膜层表面、断面形貌、成分、相结构进行观察测定;系统考察了(TiAlNb)N膜层的显微硬度、膜/基附着力、摩擦磨损及热震阻力等力学性能;结果表明,少量添加Nb的(TiAlNb)N多组元硬质膜为面心立方结构,具有良好的硬度、附着强度、耐磨性和抗热震性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张钧	沈阳大学机械工程学院	49	208	8.0	12.0
2	尹利燕	沈阳大学机械工程学院	1	3	1.0	1.0