采用柔性铰链的快速反射镜设计

• 作者: 周子云 薛向尧 邵帅 高云国
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 快速反射镜 音圈电机 柔性铰链 传动精度
• 年，卷（期）: 2014,（6）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 1547-1554
• 页数: 8页
• 分类号: TN248|TP273
• 字数: 3234字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20142206.1547

摘要

根据激光发射系统对快速反射镜发射方向精度的需求,提出了一种新型快速反射镜设计方案.该方案以柔性铰链为运动传递元件,采用直线音圈电机驱动,并用高精度光栅测微仪实现位置闭环控制.首先,介绍了反射镜工作原理及驱动方式,选择了系统的驱动元件和测角元件,并对柔性铰链结构进行设计.在研究其刚度特性的基础上,采用序列二次规划法优化了铰链关键尺寸.然后,建立了驱动组件的简化模型,并利用理论公式和有限元分析软件分别计算驱动组件的转角精度.最后,使用测角元件及自准直平行光管测量了快速反射镜的转角精度.实验结果表明:所设计的快速反射镜装置工作稳定、结构可靠,对发射光束的控制精度能达到0.95″,满足激光发射系统实时控制光束发射方向的精度要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	高云国	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	77	808	16.0	24.0
2	邵帅	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	31	237	8.0	14.0
3	薛向尧	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	18	199	7.0	14.0
4	周子云	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	3	92	3.0	3.0