离子能流密度对AISI304不锈钢氮化层摩擦性能的影响

• 作者: 巴德纯 徐林 王庆 郭德宇
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: AISI304不锈钢 氮化层 表面改性 能流密度 摩擦性能
• 年，卷（期）: 2014,（10）
• 所属期刊栏目: 结构薄膜
• 页码范围: 1019-1023
• 分类号: TB43
• 语种: 中文
• DOI: 10.13922/j.cnki.cjovst.2014.10.03

摘要

采用低温等离子体氮化技术,对AISI304不锈钢进行表面氮化处理.考察了离子能流密度对不锈钢氮化层性能的影响.运用X射线衍射、扫描电镜和显微硬度计等分析手段对氮化层的物相组成及表面硬度进行分析及测量;利用球-盘摩擦实验在干摩擦条件下对氮化层的摩擦磨损性能进行测试.结果表明:AISI304不锈钢经低温等离子体氮化处理后,形成单一高氮面心立方相γN.在氮化处理过程中,离子能流密度受工作压力及基片负偏压影响较大.离子能流密度变化能显著影响不锈钢氮化层的摩擦性能,随着离子能流密度的增加,氮化层显微硬度增大,摩擦系数减小,耐磨损性能上升.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	巴德纯		6	29	3.0	5.0
2	徐林		2	7	2.0	2.0
3	王庆		2	7	2.0	2.0
4	郭德宇		1	5	1.0	1.0