溅射法制备TiO2薄膜的耐腐蚀性

• 作者: 丁红燕 刘莹 王军
• 来源期刊: 材料工程
• 关键词: TiO2薄膜 溅射 316L不锈钢 微观结构 耐腐蚀性
• 年，卷（期）: 2014,（12）
• 所属期刊栏目: 材料与工艺
• 页码范围: 34-38
• 页数: 5页
• 分类号: TG174.2|R318.08
• 语种: 中文
• DOI: 10.11868/j.issn.1001-4381.2014.12.006

摘要

采用溅射法在石英和316L不锈钢衬底上制备TiO2薄膜.采用X射线衍射仪(XRD)、扫描电镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)观察薄膜的微观结构和表面形貌.结果表明:沉积后的TiO2薄膜表面均匀、致密,为锐钛矿结构.600℃退火后,薄膜中有金红石相生成.基于透射谱,计算得到的薄膜光学带隙在3.2eV左右.在PBS模拟体液中,测试材料的动电位极化曲线.结果显示,沉积TiO2薄膜后,材料的耐腐蚀性得到改善.退火后,TiO2薄膜的自腐蚀电位正向移动94mV,自腐蚀电流最小,为4.828μA·cm-2.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘莹	南昌大学机电工程学院	153	1424	18.0	30.0
2	王军	南昌大学机电工程学院	42	160	7.0	10.0
6	丁红燕		2	7	1.0	2.0