声表面波微力传感器的研究

• 作者: 卢文科 武少南
• 来源期刊: 仪表技术
• 学科: 工学
• 关键词: 声表面波 微力传感器 余弦平方加权
• 年，卷（期）: 2014,（7）
• 所属期刊栏目: 传感器与变送器
• 页码范围: 52-54
• 页数: 3页
• 分类号: TP212
• 语种: 中文

摘要

论述了以X-1280Y LiNbO3(铌酸锂)作为基底材料的声表面波力传感器的输入换能器和输出换能器的设计,并对其性能进行测试分析.其中输入换能器采用余弦平方函数进行加权设计,输出换能器采用均匀换能器.在制作成品后,对其性能进行实验测量,并对实验数据进行分析,发现所施加的张力与频率漂移之间的线性度很好,误差为1％左右.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	卢文科		60	216	8.0	12.0
2	武少南		1	0	0.0	0.0