基于氧化铝陶瓷的电容式高温压力传感器

• 作者: 张文栋 李晨 李运芝 熊继军 薛晨阳 谭秋林 贾平岗
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 高温传感器 压力 氧化铝陶瓷 厚膜集成技术 原位测试
• 年，卷（期）: 2014,（8）
• 所属期刊栏目: 传感器研究
• 页码范围: 1038-1042
• 页数: 5页
• 分类号: TP212.1
• 字数: 2114字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2014.08.007

摘要

氧化铝陶瓷因其稳定的机械性能和高温鲁棒性得到了广泛的应用。文章以LC谐振电路为技术背景，提出了一种基于氧化铝陶瓷的电容式高温压力传感器，并通过厚膜集成工艺技术将一个定值电感与一个可变电容集成在氧化铝陶瓷基板上实现了传感器的制备。对传感器进行高温环境下的压力测试，实验结果表明：传感器能够完成600℃高温环境下1到5 bar范围内压力的原位测试，且在600℃高温环境下传感器的重复性误差，迟滞性误差和零点漂移分别为8.3％，5.05％和3.7％。