氮粒子对Ti-Si-N岛构型演变影响的第一性原理计算

• 作者: 任元 刘学杰 吴帅 张素慧 银永杰 陆峰 魏怀
• 来源期刊: 复合材料学报
• 学科: 工学
• 关键词: 界面形成条件 相分离 构型演变 激活能 第一性原理
• 年，卷（期）: 2014,（5）
• 页码范围: 1364-1368
• 页数: 5页
• 分类号: TB330.1
• 字数: 3202字
• 语种: 中文

摘要

为了研究Ti Si-N薄膜生长过程中界面的形成,采用第一性原理计算了在TiN(001)表面上3N-2Ti-1Si、4N-1Ti-1Si和4N-2Ti-1Si岛的各构型的总能量和吸附能,并且利用推移弹性带(NEB)的方法计算了各岛构型演变过程中所需的迁移激活能.计算结果表明:Ti粒子在岛内的构型是低能量的稳定结构,这种构型是由SiN相从TiN相中分离出来而形成的;在3N-2Ti-1Si、4N-1Ti-1Si和4N-2Ti-1Si 3种构型的演变方式中,3N-2Ti-1Si构型演变所需的激活能较小,更容易实现构型演变;适量地增加N粒子的沉积比例,可以使岛构型演变所需的激活能减小,促进SiN相与TiN相的分离;当N与Ti的粒子数比例达到3∶2时,界面最容易形成.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘学杰	内蒙古科技大学机械工程学院	57	114	6.0	7.0
2	任元	内蒙古科技大学机械工程学院	31	62	4.0	6.0
3	吴帅	内蒙古科技大学机械工程学院	2	3	1.0	1.0
4	魏怀	内蒙古科技大学机械工程学院	5	13	3.0	3.0
5	陆峰	内蒙古科技大学机械工程学院	2	7	1.0	2.0
6	银永杰	内蒙古科技大学机械工程学院	2	7	1.0	2.0
7	张素慧	内蒙古科技大学机械工程学院	3	10	2.0	3.0