高精度蓝宝石卧式粘料机设计

• 作者: 高宇辉
• 来源期刊: 机械
• 学科: 工学
• 关键词: 晶向 布拉格方程 粘料机
• 年，卷（期）: 2014,（6）
• 所属期刊栏目: 产品开发与设计
• 页码范围: 53-55
• 分类号: TG4
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-0316.2014.06.013

摘要

针对在蓝宝石晶棒切割成片的过程中由于无法准确控制晶棒端面的晶向,导致晶棒切割成片后晶片精度达不到加工要求的问题,依据布拉格方程和晶体几何学原理,设计出了高精度蓝宝石卧式粘料机.该设备主要分为左右两部分:左侧包括一个轴向转动结构和滑动装置,可对晶棒端面的Y方向进行调节和修正;右侧主要包括一套压紧装置和水平调整机构,对晶棒端面的X方向进行调节.晶向调整好后直接在右侧的X光下进行准确粘接.经试验表明:切出的晶片晶向角度基本上都在正负3分以内,满足要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	高宇辉		1	0	0.0	0.0