顶面驱动可变电容静电微电机的优化设计

• 作者: 何广平 刘晓伟 宫香山
• 来源期刊: 微电机
• 学科: 工学
• 关键词: 可变电容 静电微电机 优化设计 有限元分析
• 年，卷（期）: 2014,（5）
• 所属期刊栏目: 设计与研究
• 页码范围: 21-26
• 页数: 6页
• 分类号: TP202|TM38
• 字数: 3834字
• 语种: 中文

摘要

针对顶面驱动可变电容式静电微电机的参数优化设计问题,建立了一般解析物理描述模型,并给出了优化问题的数学模型.在考虑电机结构尺寸和电机控制方法优化的同时,结合数值积分方法和遗传算法,提出一种简单高效的优化设计方法,并通过有限元分析对提出的方法进行了有效性验证,实现了静电微电机的快速优化设计.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	何广平	北方工业大学机电工程学院	88	490	11.0	18.0
2	刘晓伟		13	8	1.0	2.0
3	宫香山	北京邮电大学世纪学院	3	1	1.0	1.0