化学气相沉积法制备大尺寸单晶石墨烯的工艺参数研究?

• 作者: 赵占霞 韩林芷 马忠权
• 来源期刊: 物理学报
• 关键词: 石墨烯 化学气相沉积法 工艺参数 大尺寸
• 年，卷（期）: 2014,（24）
• 所属期刊栏目: 物理学交叉学科及有关科学技术领域
• 页码范围: 248103-1-248103-11
• 页数: 1页
• 语种: 中文
• DOI: 10.7498/aps.63.248103

摘要

石墨烯作为一种二维sp2杂化碳的同素异形体，具有优良的电学、光学、热学及力学等性质。产业化应用石墨烯要求其具有大的尺寸且性质均一。化学气相沉积法(CVD)的出现为制备大尺寸、高质量的石墨烯提供了可能。本文结合近几年CVD法制备石墨烯的研究进展，综述了影响大尺寸、单晶石墨烯制备的工艺参数，包括衬底选择与预处理、碳源与辅助气体流量调控、腔体温度和压力控制、沉积时间以及降温速率设定等。最后展望了制备大尺寸单晶石墨烯的研究方向。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	马忠权	上海大学物理系索朗联合实验室	25	87	5.0	8.0
2	赵占霞	上海大学物理系索朗联合实验室	8	46	2.0	6.0
3	韩林芷	上海大学物理系索朗联合实验室	1	14	1.0	1.0