电极间距对ZnO基MSM紫外光电探测器性能的影响

• 作者: 刘可为 张振中 李超群 申德振 陈洪宇
• 来源期刊: 发光学报
• 学科: 物理学
• 关键词: ZnO 光电探测器 MSM 电极间距 响应度
• 年，卷（期）: 2014,（10）
• 所属期刊栏目: 材料合成及性能
• 页码范围: 1172-1175
• 页数: 4页
• 分类号: O484.4
• 字数: 2294字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/fgxb20143510.1172

摘要

利用金属有机物化学气相沉积法在蓝宝石衬底上制备了Zno薄膜.利用Au电极,在ZnO薄膜上制备电极间距不同的金属-半导体-金属结构紫外光电探测器.发现随着电极间距从150μm降至5μm,探测器响应度呈现出从15 mA/W到75 mA/W的明显提高.同时,随着电极间距的减小,器件的Ⅰ-Ⅴ曲线线形发生了显著改变.这被归结为电极间距变化改变了器件耗尽区宽度和电极间电阻造成的结果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李超群	发光学及应用国家重点实验室中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	6	25	3.0	4.0
5	陈洪宇	发光学及应用国家重点实验室中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	1	7	1.0	1.0
9	张振中	发光学及应用国家重点实验室中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	1	7	1.0	1.0
10	刘可为	发光学及应用国家重点实验室中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	1	7	1.0	1.0