容性耦合等离子体的均匀性研究

• 作者: 丁可 唐优青 赵建钢 郭颖
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 数学
• 关键词: 容性耦合等离子体 朗缪尔双探针 等离子体均匀性 圆孔极板
• 年，卷（期）: 2014,（9）
• 所属期刊栏目: 等离子体技术
• 页码范围: 984-990
• 分类号: O117.3
• 语种: 中文
• DOI: 10.13922/j.cnki.cjovst.2014.09.20

摘要

使用朗缪尔双探针诊断方法,研究放电极板配置和放电参数对13.56 MHz容性耦合等离子体的电子温度、电子密度和电子能量密度分布的影响.其中极板配置包括圆孔极板、极板数量和极板间距,放电参数包括放电功率和放电气压.实验结果表明:极板配置和放电参数不仅影响等离子体的电子温度、电子密度和电子能量密度,而且影响等离子分布的均匀性;两对放电极板和接地圆孔极板均提高了等离子体的均匀性,但降低了等离子体的电子密度和电子能量密度,其中两对放电极板可将电子密度的均匀性由77.9％提高至93.5％,而圆孔极板则可将电子密度的均匀性由77.9％提高至96.4％;高功率可获得高电子密度、高电子能量密度但低均匀性的等离子体.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郭颖	东华大学理学院东华大学理学院与诺信有限公司联合实验室	31	98	5.0	8.0
2	丁可	东华大学理学院东华大学理学院与诺信有限公司联合实验室	10	42	4.0	6.0
3	唐优青	东华大学理学院东华大学理学院与诺信有限公司联合实验室	1	7	1.0	1.0