SiNX/SiO2/Si的双层膜太阳能电池研究

• 作者: 张岩 罗飞 胡智星
• 来源期刊: 电子制作
• 关键词: 晶硅太阳能电池 二氧化硅 氮化硅 减反射膜
• 年，卷（期）: 2014,（8）
• 所属期刊栏目: 电子科技 Electronics Technology
• 页码范围: 57-57
• 页数: 1页
• 字数: 1655字
• 语种: 中文

摘要

采用热氧化法制备二氧化硅减反射膜，采用PECVD制备氮化硅减反射膜，对双层薄膜带来的钝化效果进行了表征，对比了SiNX /SiO2双层减反膜和SiNX单层减反膜的区别，并研究了不同氧化工艺对扩散方阻的影响，双层减反射膜对晶硅太阳能电池的影响。结果表明：使用双层SiNX /SiO2减反膜的钝化效果更好，晶硅电池转化效率更高。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	胡智星		2	1	1.0	1.0
2	张岩		3	6	1.0	2.0
3	罗飞		2	2	1.0	1.0