层厚比对磁控溅射Cr/CrN多层涂层组织和性能的影响

• 作者: 吴湘君 张旭海 张炎 朱雪锋 江先彪 蒋建清 谈淑咏
• 来源期刊: 材料工程
• 关键词: Cr/CrN多层涂层 层厚比 硬度 磨损率
• 年，卷（期）: 2014,（11）
• 所属期刊栏目: 材料与工艺
• 页码范围: 28-33
• 页数: 6页
• 分类号: TB3|TG14|TG17
• 语种: 中文
• DOI: 10.11868/j.issn.1001-4381.2014.11.005

摘要

在超高真空磁控溅射仪上,制备了一系列具有相同调制周期不同层厚比的Cr/CrN涂层.用X射线衍射仪分析了涂层的相组成,通过扫描电镜观察了涂层形貌,采用显微硬度计测试了涂层硬度,在划痕仪上确定涂层和基体间的结合力,并利用磨损仪测量涂层的摩擦磨损性能.结果表明:调制周期为400nm时,当层厚比由2.0减小到0.2,Cr/CrN多层涂层始终由Cr和CrN两相组成,涂层择优取向为CrN(200),且涂层变得愈加致密,硬度从1550HV增大到2300HV,磨损率从2.4×10-8mm3·N-1·m-1减小为0.6×10-8mm3·N-1·m-1,涂层和基体结合性能优良.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	蒋建清	东南大学材料科学与工程学院	147	1301	17.0	25.0
2	张炎		38	73	5.0	6.0
4	张旭海	东南大学材料科学与工程学院	25	154	8.0	11.0
5	谈淑咏		21	43	5.0	5.0
7	吴湘君	东南大学材料科学与工程学院	5	32	4.0	5.0
12	朱雪锋	南京工程学院材料工程学院	2	5	1.0	2.0