光栅尺测长式激光差动共焦曲率半径测量系统

• 作者: 周桃庚 徐鹏 王方彪 肖阳 赵维谦
• 来源期刊: 应用光学
• 学科: 工学
• 关键词: 差动共焦 曲率半径测量 非接触测量 光栅尺
• 年，卷（期）: 2014,（6）
• 所属期刊栏目: 光学计量与测试
• 页码范围: 1023-1028
• 页数: 6页
• 分类号: TN247|TH741
• 字数: 2778字
• 语种: 中文
• DOI: 10.5768/JAO201435.0603002

摘要

为了增强高精度曲率半径测量仪器的抗环境干扰能力，满足现场使用需求，研制了一套基于光栅尺测长的激光差动共焦曲率半径测量系统。该系统利用差动共焦轴向光强响应曲线的过零点对应系统物镜聚焦焦点这一特性，对被测样品的猫眼位置及共焦位置进行精确瞄准定位，并借助光栅尺测长得到透镜猫眼位置与共焦位置之间的距离，实现曲率半径的测量。实验表明，该系统相对测量精度优于5×10－6，满足高精度曲率半径测量的精度需求。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵维谦	北京理工大学光电学院精密光电测试仪器及技术北京市重点实验室	55	192	8.0	11.0
2	周桃庚	北京理工大学光电学院精密光电测试仪器及技术北京市重点实验室	19	167	5.0	12.0
3	徐鹏	北京理工大学光电学院精密光电测试仪器及技术北京市重点实验室	10	128	3.0	10.0
4	肖阳	北京理工大学光电学院精密光电测试仪器及技术北京市重点实验室	4	22	2.0	4.0
5	王方彪	北京理工大学光电学院精密光电测试仪器及技术北京市重点实验室	1	2	1.0	1.0