多晶硅炉氩气导流系统设计与数值模拟优化

• 作者: 左然 狄晨莹 程晓农 苏文佳
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 多晶硅 数值模拟 氩气导流 固/液界面
• 年，卷（期）: 2014,（5）
• 页码范围: 1236-1242
• 页数: 7页
• 分类号: TN304
• 字数: 3306字
• 语种: 中文

摘要

在DSS法多晶硅生长中,为了降低氧碳含量,作者利用CGSim软件,分析了三种传统氩气导流系统的优缺点,以此为基础设计了一种中心和侧面双排气的新型导流系统,并对其进行了设计和数值模拟优化.模拟得出以下结论:多晶铸锭炉三种传统氩气导流系统中,石墨坩埚上部开大孔且有盖板时,有利于控制氧碳含量和固/液界面;新型多晶铸锭炉氩气导流系统中,中心氩气进口管伸入上盖板时,有利于降低多晶硅的氧碳含量;随着石墨坩埚上部开口高度h逐渐增大,中心出口氩气流速逐渐减小,侧面出口氩气流速增大,当h=20 mm时,有利于降低多晶硅的氧碳含量.研究结果为生长高质量的多晶硅提供了理论依据.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	程晓农	江苏大学材料科学与工程学院	344	2629	24.0	32.0
2	左然	江苏大学能源与动力工程学院	69	606	14.0	22.0
3	苏文佳	江苏大学能源与动力工程学院	22	212	8.0	14.0
7	狄晨莹	江苏大学能源与动力工程学院	3	19	3.0	3.0