生长温度对立方MgZnO薄膜生长取向和紫外光吸收特性的影响

• 作者: 吕有明 彭赛 曹培江 曾玉祥 朱德亮 柳文军 贾芳 韩舜
• 来源期刊: 发光学报
• 学科: 物理学
• 关键词: MgZnO 脉冲激光沉积 光学带隙 生长温度
• 年，卷（期）: 2014,（8）
• 所属期刊栏目: 材料合成及性能
• 页码范围: 939-944
• 页数: 6页
• 分类号: O484.1
• 字数: 3593字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/fgxb20143508.0939

摘要

利用脉冲激光沉积技术在非晶石英衬底上制备立方结构Mg,ZnO薄膜,并研究MgZnO薄膜结晶特性、光学带隙随生长温度的变化情况.当生长温度从150℃升高到700 ℃时,MgZnO薄膜的生长取向由(200)向(111)转变.在600℃以下,MgZnO薄膜光学带隙的变化规律与品格中Mg和Zn原子比例的变化趋势是一致的;而当温度升至700℃时,虽然MgZnO品格中Mg和Zn原子比例降低,但由于平均晶粒尺寸变大,薄膜的光学带隙反而上升.在300℃和700℃品格匹配的情况下,获得了单一(200)和(111)取向的立方MgZnO薄膜.