差分式MEMS面内加速度计设计

• 作者: 周智君 李祥 李策 石云波 董胜飞
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 差分式 MEMS 面内加速度计 高量程
• 年，卷（期）: 2014,（7）
• 所属期刊栏目: 传感器研究
• 页码范围: 893-897
• 页数: 5页
• 分类号: TP212
• 字数: 1978字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2014.07.008

摘要

设计了一种新型差分式大量程MEMS加速度计,实现了面内大过载信号的测试。首先利用MATLAB软件结合理论原理,设计了具体的结构参数,利用ANSYS有限元分析软件验证了结构设计的合理性。将本差分式MEMS面内加速度计结构用于集成三轴传感器,3个敏感质量块可以分别感应3个方向的加速度而不会相互影响,可以有效解决传感器体积大以及轴间交叉干扰的难题。