用于光刻系统仿真的多边形处理算法

• 作者: 史峥 吕楠 罗凯升 耿臻
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 学科: 工学
• 关键词: 传感器 多边形切分 光刻仿真 光学邻近效应 部分相干系数
• 年，卷（期）: 2014,（9）
• 所属期刊栏目: 计算与测试
• 页码范围: 124-127
• 页数: 4页
• 分类号: TP312
• 字数: 3021字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13873/J.1000-9787(2014)09-0124-04

摘要

为提高光刻仿真效率,通过对光刻原理进行研究,提出了2种多边形处理算法,将掩模上的多边形图案进行切分优化,将其划分成若干矩形或三角形.在Linux环境下应用C语言设计出一个完整的光刻仿真系统,设计的具体光学参数为:光源波长为193 nm,数值孔径为0.3～0.8,部分相干系数可调范围为0.2～0.8,可一次性仿真1μm×1μm到10 μm×10μm范围内的45 nm～0.18 μm工艺的复杂版图,并通过多次实验进行验证.实验结果表明:原版图图像的边缘细节得到保留,且该算法有效地减少了光刻模拟的计算复杂度与计算时间,整体效率提升20％以上,为当前智能传感器系统芯片的制造节省了宝贵时间.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	史峥	浙江大学超大规模集成电路设计研究所	51	176	7.0	11.0
2	罗凯升	浙江大学超大规模集成电路设计研究所	2	0	0.0	0.0
3	吕楠	浙江大学超大规模集成电路设计研究所	2	0	0.0	0.0
4	耿臻	浙江大学超大规模集成电路设计研究所	1	0	0.0	0.0