FeCoB-Al2O3软磁颗粒膜磁特性研究

• 作者: 熊炫 郝永德
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 软磁颗粒膜 共溅射 溅射工艺参数 电阻率 磁特性
• 年，卷（期）: 2014,（6）
• 所属期刊栏目: 功能薄膜
• 页码范围: 631-635
• 分类号: TB43|O484.4
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2014.06.15

摘要

采用射频磁控倾斜共溅射制备了一系列的(Fe40Co40B20)1-x(Al2O3)x软磁颗粒膜.分别研究了基片转速及溅射气压对FeCoBAl2O3薄膜微波磁特性影响.并通过改变FeCoB靶以及Al2O3靶的溅射功率进一步调控了软磁颗粒膜的磁特性和电阻率.研究结果表明在基片转速为60 r/min,溅射气压为0.2Pa,FeCoB靶的溅射功率为250W,Al2O3靶的溅射功率为100 W时,获得的FeCoB-Al2O3软磁颗粒膜具备了优良的软磁特性、微波磁特性和较高的电阻率.薄膜的饱和磁化强度为1.73 T,易轴难轴矫顽力均小于80 A/m,电阻率为126.75μΩ· cm,共振频率高达2.22 GHz,磁导率实部在2GHz仍大于400.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郝永德	华中科技大学光学与电子信息学院	20	74	6.0	7.0
2	熊炫	华中科技大学光学与电子信息学院	11	70	5.0	8.0