基于MEMS传感器的水汽测量系统

• 作者: 刘清惓 谢钟镭 陈传寅 高翔
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS传感器 露点测量 露点湿度转换 温度传感器 计算流体动力学
• 年，卷（期）: 2014,（6）
• 所属期刊栏目: 传感器应用
• 页码范围: 852-856
• 页数: 5页
• 分类号: TP393
• 字数: 2996字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2014.06.026

摘要

提出一种基于MEMS技术的电容式传感器，结合ARM Cortex-M3嵌入式处理器搭建电容式水汽测量系统的测控系统，以实现大气环境中的高精度湿度测量。为提高测量精度和分辨率，利用24 bit ∑-△数模转换器测量露点和温度。通过PID控制算法对半导体制冷器进行控制，使贴有MEMS露点传感器和温度传感器的制冷器冷端表面温度降低。当MEMS露点传感器表面温度低于露点时，其表面会产生露珠，引起MEMS电容增大。 MEMS露点传感器电容值可以通过24 bit ∑-△电容数字转换器测量。通过Goff-Gratch方程和露点湿度转换关系，可计算出到大气湿度。测量结果表明，该系统的露点测量精度可达约±0.2℃。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘清惓		42	91	5.0	7.0
5	高翔		3	6	1.0	2.0
9	陈传寅		1	5	1.0	1.0
13	谢钟镭		1	5	1.0	1.0