真空封装硅微陀螺品质因数的标定

• 作者: 余才佳 孙香政 滕霖 王刚 王玉朝 郭志想
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 航空航天
• 关键词: 硅微陀螺 真空封装 品质因数 标定 时延常数法 扫频法
• 年，卷（期）: 2014,（10）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 2708-2714
• 页数: 7页
• 分类号: V241.5
• 字数: 2316字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20142210.2708

摘要

建立了真空封装陀螺的无激励欠阻尼二阶系统模型,用于测量真空封装硅微陀螺的品质因数.对该模型进行理论推导,提出了一种时延常数测试方法.该方法首先利用锁相环路,驱动陀螺实现闭环谐振,获得较大的初始振幅.然后关断激励信号,通过放大电路和解调电路,记录硅微陀螺振荡幅值的衰减过程;用计算机通过Matlab GUI实时采集并拟合振幅衰减曲线,获得时间常数.最后,通过时间常数解算获得真空封装硅微陀螺的品质因数.对真空封装硅微陀螺品质因数的实验测试结果表明:该方法实测数据与理论分析模型的拟合度为99.999％,测试重复性为4.03％,优于传统的扫频测试法的重复性.对比时延常数法与锁相放大器扫频测试法的测试数据显示:时延常数法具有更高的测量精度和更高的测试效率.该方法可以推广到其它高真空封装MEMS器件的品质因数测量.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王刚		16	61	3.0	7.0
2	王玉朝		2	11	2.0	2.0
3	滕霖		7	48	4.0	6.0
4	孙香政		1	7	1.0	1.0
5	郭志想		2	10	2.0	2.0
6	余才佳		4	12	2.0	3.0