基于静态膨胀法的极小漏率校准方法研究

• 作者: 习振华 冯焱 成永军 李得天 杨长青 赵澜
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 航空航天
• 关键词: 极小漏率 静态膨胀法 离子流上升率 四极质谱计校准系数
• 年，卷（期）: 2014,（12）
• 所属期刊栏目: 真空技术与理论
• 页码范围: 1380-1385
• 分类号: V19
• 语种: 中文
• DOI: 10.13922/j.cnki.cjovst.2014.12.18

摘要

提出了一种基于静态膨胀法的极小漏率校准方法.该方法通过测量被校漏率离子流上升率及四极质谱计校准系数实现校准.实验发现,10-10 Pa· m3/s量级极小漏率的离子流上升率重复性良好;采用混合气体二级膨胀能有效降低复杂膨胀过程对四极质谱计校准系数重复性引入的测量不确定度.通过对一支10-10 Pa· m3/s真空漏孔的校准实验,证明基于静态膨胀法的极小漏率校准方法有效可行.当进一步减小校准室容积时,该方法能够实现10-13pa·m3/s量级极小漏率的校准.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李得天	兰州空间技术物理研究所真空低温技术与物理重点实验室	55	149	6.0	9.0
2	成永军	兰州空间技术物理研究所真空低温技术与物理重点实验室	34	75	6.0	7.0
3	赵澜	兰州空间技术物理研究所真空低温技术与物理重点实验室	14	25	3.0	4.0
4	习振华	兰州空间技术物理研究所真空低温技术与物理重点实验室	10	21	2.0	3.0
5	冯焱	兰州空间技术物理研究所真空低温技术与物理重点实验室	13	54	5.0	6.0
6	杨长青	兰州空间技术物理研究所真空低温技术与物理重点实验室	2	3	1.0	1.0