V500型 CO2激光机及其Al2 O3电子陶瓷基板加工技术

• 作者: 李宏杰 白军信
• 来源期刊: 陶瓷
• 学科: 工学
• 关键词: CO2 激光机 陶瓷基片 加工技术
• 年，卷（期）: 2014,（11）
• 所属期刊栏目: 科技篇 -- 研究与开发
• 页码范围: 31-33
• 页数: 3页
• 分类号: TQ174.75+6
• 字数: 2660字
• 语种: 中文

摘要

主要介绍了 V500型 CO2激光机的结构、原理以及加工电子陶瓷基片的相关技术，利用激光加工α－96％Al2 O3陶瓷基板，是满足厚膜混合集成电路等产品生产和科研需要的主要方法之一。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	白军信		4	7	1.0	2.0
2	李宏杰		1	0	0.0	0.0