春风化雨露产业基金如何为行业发展提速？--半导体设备产业的新星中微公司专访

• 作者: 韩继国
• 来源期刊: 集成电路应用
• 学科: 工学
• 关键词: 半导体 制造设备 刻蚀 薄膜
• 年，卷（期）: 2014,（8）
• 所属期刊栏目: 业界风云
• 页码范围: 8-11
• 页数: 4页
• 分类号: TN305
• 字数: 7015字
• 语种: 中文

摘要

中微半导体设备公司的核心团队在其领军人物尹志尧博士的带领下，在中国大陆创建中微半导体设备公司，用了短短十年时间，开发了一系列微观加工关键的等离子体刻蚀和化学薄膜设备，以独立自主的创新技术、极高的生产效率、明显的成本优势、一流的产品质量开始进入国内外众多的先进半导体芯片生产线。随着《国家集成电路产业发展推进纲要》的发布，中微和全行业一起迎来一个发展的新机遇。产业基金如果能以股本金、低息贷款和科研资助的方式三管齐下，势必可为中国半导体行业的新一轮发展加快提速。