Parylene在毫米波MMIC电路防护上的应用研究

• 作者: 仝晓刚 成彦 敖辽辉 石秀锟
• 来源期刊: 电子元件与材料
• 学科: 工学
• 关键词: Parylene N 防护 MMIC电路 薄膜滤波器 低噪声放大器 噪声系数 增益
• 年，卷（期）: 2014,（1）
• 所属期刊栏目: 研究与试制
• 页码范围: 39-42
• 页数: 4页
• 分类号: TN605
• 字数: 2438字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-2028.2014.01.011

摘要

为了验证Parylene N在毫米波电路防护上应用的可行性,对35 GHz的薄膜滤波器和Ka频段的低噪声放大器进行了Parylene处理.测试结果表明,5μm的Parylene N膜层使薄膜滤波器中心频率下偏了约0.4％,10 μm膜层使其中心频率下偏了约0.7％;5 μm的Parylene N膜层使低噪放的噪声系数略有增大、增益略有降低.最后,对Parylene处理后的低噪放进行了湿热试验,高、低温贮存试验,发现其噪声系数曲线、增益曲线与试验前的走势一致性较好.因而,Parylene处理技术在毫米波电路防护上的应用是可行的.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	仝晓刚	中国电子科技集团公司第十研究所	8	9	1.0	3.0
2	敖辽辉	中国电子科技集团公司第十研究所	10	21	3.0	4.0
3	石秀锟	中国电子科技集团公司第十研究所	1	1	1.0	1.0
4	成彦	中国电子科技集团公司第十研究所	1	1	1.0	1.0