光学玻璃的激光微结构化砂轮精密磨削

• 作者: 于欣 赵清亮 郭兵 陈冰
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 光学玻璃 微结构化 金刚石砂轮 纳秒激光 精密磨削 亚表层损伤
• 年，卷（期）: 2014,（10）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 2659-2666
• 页数: 8页
• 分类号: TQ171.68
• 字数: 3945字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20142210.2659

摘要

为了降低大磨粒金刚石砂轮磨削光学玻璃时的亚表层损伤,利用纳秒脉冲激光对金刚石砂轮进行了表面微结构化加工,并采用该砂轮研究了光学玻璃的精密磨削加工.首先,计算了金刚石磨粒在纳秒脉冲激光辐射下的烧蚀阈值和激光束腰半径;然后,分析了纳秒脉冲激光在金刚石磨粒上加工的微结构形貌以及微结构化过程中的热损伤;最后,采用微结构化大磨粒金刚石砂轮进行光学玻璃的磨削实验,并分析了亚表层的损伤情况.实验结果表明:金刚石磨粒在纳秒脉冲激光辐射下的烧蚀阈值为0.89 J/cm,激光束腰半径为17.16 μm.在粒度为150 μm的大磨粒电镀金刚石砂轮上可以实现结构尺寸为20 μm的微结构表面加工.与传统金刚石砂轮相比,微结构化砂轮磨削后的光学玻璃亚表层损伤深度降低了40％,达到了降低光学玻璃磨削亚表层损伤的目的.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵清亮	哈尔滨工业大学机电工程学院	74	849	16.0	24.0
2	于欣	哈尔滨工业大学航天学院	25	137	8.0	10.0
3	陈冰	哈尔滨工业大学机电工程学院	8	34	3.0	5.0
4	郭兵	哈尔滨工业大学机电工程学院	18	207	9.0	14.0