微型电磁继电器的仿真与加工工艺研究?

• 作者: 张斌珍 曹合适 段俊萍 王万军 贾志浩
• 来源期刊: 电子器件
• 学科: 工学
• 关键词: 电磁继电器 电磁驱动 UV-LIGA 电镀
• 年，卷（期）: 2014,（6）
• 页码范围: 1057-1061
• 页数: 5页
• 分类号: TM581.3
• 字数: 3181字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-9490.2014.06.010

摘要

设计了一种新型的MEMS微型继电器,该继电器采用电磁驱动方式,继电器大小约为1.2 mm×1 mm×1 mm,驱动力大、体积小、便于集成。用ANSYS和MATLAB仿真分析各参数对微继电器性能的影响,对其进行优化分析和理论验证。该微型继电器能产生最大60 mN左右的驱动力,实现30μm的驱动行程,满足性能要求。运用UV-LIGA技术,完成工艺的流程设计。通过反复实验,提出了增强金属与基底的粘附性的有效方法。