高峰值功率808 nm 垂直腔面发射激光器列阵

• 作者: 刘晓莉 宁永强 崔锦江 张星 张金胜 张金龙 朱洪波 王立军
• 来源期刊: 发光学报
• 学科: 工学
• 关键词: 高峰值功率 808 nm 垂直腔面发射激光器 列阵
• 年，卷（期）: 2014,（9）
• 所属期刊栏目: 器件制备及器件物理
• 页码范围: 1098-1103
• 页数: 6页
• 分类号: TN248.4
• 字数: 2579字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/fgxb20143509.1098

摘要

为了实现808 nm 垂直腔面发射激光器(VCSEL)的高功率输出，对808 nm VCSEL 的分布式布拉格反射镜(DBR)结构材料进行了优化设计，分析了 Alx Ga1- x As 材料中 Al 组分对于折射率与吸收的影响，并最终确定了材料。采用非闭合环结构制备了2×2 VCSEL 列阵。通过波形分析法对 VCSEL 列阵的功率进行了测量：在脉冲宽度为20 ns、重复频率为100 Hz、注入电流为110 A 的条件下，最大峰值功率为30 W；在脉冲宽度为60 ns、重复频率为100 Hz、注入电流为30 A 的条件下，最大功率为9 W。对列阵的近场和远场进行了测量，激光器垂直发散角和水平发散角半高全宽分别为16.9°和17.6°。