热处理对Co-Cr-Ta合金靶材磁性能的影响

• 作者: 周武平 张凤戈 李建奎 梁俊才 王铁军 穆健刚 赵栋梁
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 铁磁性靶材 磁记录 热处理 漏磁率
• 年，卷（期）: 2014,（11）
• 所属期刊栏目: 其它
• 页码范围: 1267-1271
• 分类号: TG156.31
• 语种: 中文
• DOI: 10.13922/j.cnki.cjovst.2014.11.24

摘要

基于磁控溅射磁性薄膜存在铁磁性靶材难以正常溅射的问题,本文从改善靶材的制备工艺,提高靶材表面漏磁率出发,结合Co-Cr-Ta合金的差示扫描量热法曲线,采用不同的热处理制度对Co-Cr-Ta合金进行了热处理,并测定了不同热处理制度下Co-Cr-Ta合金的相结构、织构和靶材表面的漏磁率,发现热处理后,Co-Cr-Ta合金的主相由面心立方的Co相转变为密排六方的Co相,形成c轴趋于平行轧制面的{-12-10}和{10-10}线织构,靶材表面的漏磁率增大5倍,并且漏磁率随热处理保温时间的延长而增大,得出了最佳热处理保温时间.Co-Cr-Ta合金经过热处理后,发生相变并形成{-12-10}和{10-10}的线织构,是漏磁率增高的根本原因.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵栋梁		64	188	7.0	9.0
2	周武平		14	255	6.0	14.0
3	王铁军		27	144	6.0	12.0
4	梁俊才		6	16	2.0	4.0
5	张凤戈		5	25	2.0	5.0
6	穆健刚		3	13	1.0	3.0
10	李建奎		1	1	1.0	1.0