低温原子层沉积氧化铝作为有机电致发光器件的封装薄膜

• 作者: 杨永强 段羽 赵毅 陈平
• 来源期刊: 发光学报
• 学科: 工学
• 关键词: 原子层沉积 薄膜均匀 低温
• 年，卷（期）: 2014,（9）
• 所属期刊栏目: 器件制备及器件物理
• 页码范围: 1087-1092
• 页数: 6页
• 分类号: TN383+.1|TN873.13
• 字数: 4069字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/fgxb20143509.1087

摘要

为了克服传统的原子层深沉积反应温度高于有机材料的玻璃化温度对有机电致发光器件性能产生破坏的缺点,使用低温原子层沉积的方法沉积了 Al2 O3薄膜,成功地实现了对 OLED 的薄膜封装。实验中为了抑制环境温度对 ALD 薄膜均匀性的影响,增加了每个反应周期的抽气时间,从而可以充分地排出反应副产物,抑制了空位的形成,使得薄膜具有较高的均匀性和致密性。微观形貌分析、钙测试以及寿命测试表明,通过增加 ALD 的 PGT,低温制备的薄膜与高温制备的薄膜的均匀性差别较小,且制备过程对 OLED 器件的光电性能无明显影响。低温制备的薄膜水汽透过率(WVTR)可以达到8.6×10-4 g/(m2·d),能够有效地提高有机电致发光器件的寿命。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	段羽	集成光电子学国家重点联合实验室吉林大学实验区吉林大学电子科学与工程学院	2	7	1.0	2.0
2	赵毅	集成光电子学国家重点联合实验室吉林大学实验区吉林大学电子科学与工程学院	3	17	2.0	3.0
3	陈平	集成光电子学国家重点联合实验室吉林大学实验区吉林大学电子科学与工程学院	2	13	2.0	2.0
4	杨永强	集成光电子学国家重点联合实验室吉林大学实验区吉林大学电子科学与工程学院	1	7	1.0	1.0