研磨方式对单晶蓝宝石亚表面损伤层深度的影响

• 作者: 左敦稳 徐俊 朱永伟 王加顺 王建彬
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 单晶蓝宝石 固结磨料 游离磨料 亚表面损伤层深度 表面粗糙度
• 年，卷（期）: 2014,（5）
• 页码范围: 1099-1104,1120
• 页数: 7页
• 分类号: TG74|TN305.1
• 字数: 3892字
• 语种: 中文

摘要

研磨过程中产生的亚表面损伤层深度是影响单晶蓝宝石抛光质量的关键因素.本文开展了游离磨料和固结磨料两种研磨方式研磨单晶蓝宝石的实验研究,采用三维形貌仪观察了加工前后的工件表面质量,运用差动腐蚀法比较了研磨方式对研磨后工件亚表面损伤层深度的影响.结果表明,金刚石磨料粒径分别为W 50和W 14的游离磨料研磨加工蓝宝石晶片的亚表面损伤层深度分别为48.85 μm和7.02 μm,而相同粒径固结磨料加工的亚表面损伤层深度分别为5.47 μm和3.25 μm.固结磨料研磨后的工件表面粗糙度也优于相同粒径的游离磨料加工的工件.固结磨料研磨方式对于蓝宝石单晶表面研磨质量的改善和亚表面损伤层深度的降低具有显著的效果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	左敦稳	南京航空航天大学机电学院江苏省精密与微细制造技术重点实验室	510	3780	26.0	32.0
2	朱永伟	南京航空航天大学机电学院江苏省精密与微细制造技术重点实验室	128	1288	19.0	26.0
3	王建彬	南京航空航天大学机电学院江苏省精密与微细制造技术重点实验室	43	138	5.0	10.0
7	徐俊	南京航空航天大学机电学院江苏省精密与微细制造技术重点实验室	13	140	6.0	11.0
8	王加顺	南京航空航天大学机电学院江苏省精密与微细制造技术重点实验室	7	51	4.0	7.0