基于氧化锡薄膜的表面传导场致发射阴极阵列的制备及性能研究

• 作者: 周雄图 张永爱 林婷 林木飞 林锑杭 郭太良
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 氧化锡薄膜 表面传导 场致发射 阴极阵列
• 年，卷（期）: 2014,（8）
• 所属期刊栏目: 电子器件
• 页码范围: 814-818
• 分类号: TB332
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2014.08.08

摘要

利用磁控溅射和阳光刻技术在玻璃基底上成功制备了不同厚度SnO2的表面传导场致发射阴极阵列,并测试其场致发射性能.X射线衍射和X射线光电子谱测试表明,沉积在阴极和栅极之间的薄膜为SnO2薄膜;原子显微镜测试表明,SnO2薄膜形貌的粗糙度随沉积时间的增长而增加,晶粒大小也随着膜厚的增加而增大.场发射测试表明,制备的SnO2表面传导场致发射阴极阵列的传导电流和发射电流完全被栅极电压控制;在Sn02薄膜厚度为60nm时,阳极电压和栅极电压分别为3200V和200V,阴阳间距为500 μm时,SnO2表面传导场致发射阴极阵列的电子发射效率为0.72％,发光亮度为650 cd/m2,表明SnO2薄膜在表面传导场致发射阴极阵列方面有着较好的应用潜力.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郭太良	福州大学物理与信息工程学院	302	1102	15.0	21.0
2	张永爱	福州大学物理与信息工程学院	57	199	8.0	11.0
3	林婷	福州大学物理与信息工程学院	7	10	2.0	2.0
4	周雄图	福州大学物理与信息工程学院	26	67	5.0	7.0
5	林锑杭	福州大学物理与信息工程学院	6	9	2.0	2.0
6	林木飞	福州大学物理与信息工程学院	3	5	1.0	2.0