一种基于悬浮吸收层的双层结构的热电堆红外探测器

• 作者: 欧文 毛海央 熊继军 薛晨阳 谭秋林 陈大鹏 陈媛婧
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 年，卷（期）: 2014,（6）
• 所属期刊栏目: 传感器研究
• 页码范围: 730-735
• 页数: 6页
• 分类号: TP212.1
• 字数: 1048字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2014.06.005

摘要

提出一种新颖红外传感器，这种传感器采用悬浮吸收层的双层结构的优势，来实现相对小尺寸下的高探测性能。双层结构采用2种牺牲层材料，分别为聚酰亚胺牺牲层和预埋在热偶条和沉底之间的多晶硅材料。仿真结果证明了该种结构的探测率、响应率和响应时间分别达到2.85×108 cm Hz(1/2)/W、1800 V/W和6 ms。本文给出了该种热电堆红外探测器高度兼容于CMOS工艺的制备流程，使器件的高效量产和低成本生产成为可能。