一级平面等厚干涉仪示值误差的测量不确定度分析

• 作者: 蒋贵芳
• 来源期刊: 计量与测试技术
• 学科: 工学
• 关键词: 一级平面等厚干涉仪 示值误差 测量不确定度分析
• 年，卷（期）: 2014,（4）
• 所属期刊栏目: 计测技术
• 页码范围: 81-82
• 页数: 2页
• 分类号: TH81
• 字数: 1637字
• 语种: 中文

摘要

本文介绍了一级平面等厚干涉仪示值误差的测量不确定度分析.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	蒋贵芳		7	5	1.0	1.0